等離子清洗機操作步驟

等離子清洗機操作步驟如下：

操作流程：打開電源---將產(chǎn)品放置于真空腔內(nèi)---在系統(tǒng)界面里設(shè)置時間、功率、氣流量等工作參數(shù)---啟動工作---到達計時---取出產(chǎn)品

1.首先操作員應(yīng)該將被設(shè)備加工的物品轉(zhuǎn)移到反應(yīng)室內(nèi)。

2.當操作員關(guān)上反應(yīng)室的門并且啟動程序時，這個腔將自動密封。

3.這個真空腔將會被抽空到一個預(yù)先設(shè)置的真空壓力下。

4.當真空腔里的壓力達到預(yù)設(shè)的真空壓力時，混合氣體將被引進到反應(yīng)室內(nèi)。腔內(nèi)的壓力將被穩(wěn)定在這個預(yù)定的壓強狀態(tài)下。

5.電源將被激活并且射頻電源將被用來激發(fā)反應(yīng)室內(nèi)的氣體。

6.等離子體將會在預(yù)先設(shè)置的時間段內(nèi)在反應(yīng)室內(nèi)用來處理產(chǎn)品。

7.當產(chǎn)品已經(jīng)被等離子體處理過后，反應(yīng)室內(nèi)的射頻電源將會停止。

8.操作用氣也將會停止供應(yīng)。

9.真空破除器的截止閥將會被打開用來凈化反應(yīng)室。

10.真空管將會關(guān)上，與此同時允許先前被阻斷的氣體返回到反應(yīng)室內(nèi)，使反應(yīng)室回歸到大氣壓強。

11.操作人員打開反應(yīng)室的門。

12.已經(jīng)被處理過的產(chǎn)品可以從真空腔內(nèi)移出，整個流程結(jié)束。

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