小型石英等離子清洗機安裝與操作說明

小型石英等離子清洗機設備安裝與操作使用說明如下：

5.1初始安裝時,遵循下列步驟：

第一步： 連接好等離子清洗機與真空泵之間的真空管路,緊固好O型卡和鎖緊帽,做到連接處密封且不漏氣。

第二步： 接通供電電源和真空泵電源,在此之前檢查所有按鈕必須處于復位狀態(tài),同時檢查所供電源插座的L、N、E的接線是否與機箱后的AC220V輸入插頭相一致，以免發(fā)生危險動作。

第三步： 第一次開機,不做其它操作，直接打開機體上紅色電源開關、真空泵開關，輕輕推關腔門，然后按綠色啟動鍵抽真空，目的是去潮除濕，同時檢查是否有漏氣部位：聽漏氣聲響；拉動真空倉門是否密封；觀察壓力表到達-100Kpa左右；若無上述狀況即為正常

第四步： A、打開電源，先在顯示屏里設定清洗時間；

B、將托盤承載的產品放入反應室內；

C、輕推反應腔門，按面板上綠色啟動開關，真空泵開始工作。

D、壓力表真空值-101KPa左右，看到離子輝光放電現(xiàn)象，進入處理狀態(tài)；同時可設定功率大小、反應氣體注入量；（反應氣體是根據工藝需求選配，不使用時鎖緊關閉，）

5.3 使用操作步驟

5.3.1 自動狀態(tài)下運行處理

（圖5.3.1主機界面）

（圖5.3.2功能畫面）

（圖5.3.3參數(shù)畫面）

1. 進入“主機界面”（圖5.3.1主機界面），點擊“下一頁”進入“功能畫面”（圖5.3.2功能畫面）選擇“參數(shù)頁面”（圖5.3.3參數(shù)畫面）修改清洗時間或清除清洗數(shù)據。

2. 點擊“下一頁”進入“手動頁面”將氧氣氬氣閥門設置為打開狀態(tài)，返回主機界面。

3. 調節(jié)功率，功率調節(jié)范圍80%-100%，根據實驗需求進行調節(jié)。

4. 將被處理物放置真空腔內，關好腔門，按下啟動按鈕，開始抽真空。

5. 待腔體產生輝光，根據實驗需求，手動調節(jié)流量計旋鈕添加輔助性氣體。

6. 到達處理時間后，平衡閥自動復原，3秒左右恢復常壓，無進氣聲響時，腔門自動打開。

7. 打開腔門，取出被處理物，一個處理過程結束。

____以上各命令都可在鍵下終止，回到復位狀態(tài)。所有數(shù)字量都可自由調整，確認鍵后記憶保存，斷電不丟。

5.4手動狀態(tài)下運行處理

（5.4.1手動狀態(tài)下操作頁面）

1. 調節(jié)功率，功率調節(jié)范圍80%-100%，根據實驗需求進行調節(jié)。

2. 將被處理物體放置到倉內，關好倉門，按下啟動鈕，開始抽真空。

3. 真空度達到要求時，按下射頻電源鈕（打開狀態(tài)為：黃色燈亮“開”），加入射頻高壓，處理過程開始。

4. 待腔體產生輝光，根據實驗需求，打開氧氣氬氣閥門開關（打開狀態(tài)為：黃色燈亮“開”），手動調節(jié)流量計旋鈕添加輔助性氣體。

5. 到達處理時間后，復原平衡閥鈕，3秒左右恢復常壓，無進氣聲響時，腔門自動打開。

6. 打開腔門，取出被處理物，一個處理過程結束。

在手動狀態(tài)下，可設定氧氣閥、氬氣閥、真空泵、射頻電源、平衡閥的開關選擇，進行數(shù)據工作。

5.5氣體使用注意事項：

①在觸摸屏的手動畫面打開氣閥；

②腔內激發(fā)輝光后，再扭開流量計注入；

③兩路氣體，機體前面板上的流量計與機體背面的氣孔口為對應一致接入工作；